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IH600
應用l 負載鎖定l 轉(zhuǎn)換l 計量l 平版印刷l PVD制程l PVD預清潔l RTAl 剝離/灰化l 刻蝕l 植入源l HDP CVDl
應用
l 負載鎖定
l 轉(zhuǎn)換
l 計量
l 平版印刷
l PVD制程
l PVD預清潔
l RTA
l 剝離/灰化
l 刻蝕
l 植入源
l HDP CVD
l RTP
l SACVD
l MCVD
l PECVD
l LPCVD
l ALD
功能與優(yōu)勢
l 優(yōu)化了設(shè)施消耗
l 無需預防性維護
l 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理
l 在節(jié)省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的CVD應用條件下的穩(wěn)定性
l 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體
l 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證
l 軸桿一體化設(shè)計無需電機聯(lián)軸器,第五抽排級免除對消音器的需求,也避免了顆粒堆積,兩者均減少了總體占地空間
泵系列
實踐證明,Edwards高級半導體真空泵能夠達到最高運行標準。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。
· iH80
· iH160
· iH600
· iH1000
· iH1800
· iH1800HTX